| X-ray photoelectron spectroscopy | |
|---|---|
| X-선 광전자 분광 (XPS) | |
| 글자 수 | 29 |
| 분류 | <물리> |
| 어인정 | X |
| 미션 | o(5), e(3), t(3), c(3), r(3), p(3) |
X-선 영역의 단일 파장 빛을 사용하는 X-선 광전자 분광(X-ray photoelectron spectroscopy)는 1000∼1500 eV 정도의 에너지를 가지는 X-선을 사용하여 주로 시료 내부 원자의 core level에서 방출되는 전자를 분석하여, 시료에 있는 원소의 종류, 화학상태, 농도 등을 알아내는 기술로서, 많은 상용 장비가 판매되고 있고 분석 방법이나 사용법 등이 널리 알려져 있다.